| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2022년 가을 (11/09 ~ 11/11, 휘닉스 제주 섭지코지) |
| 권호 | 28권 2호 |
| 발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료 분과 |
| 제목 | Design of thermally induced wrinkle structure for stretchable IGTO thin-film transistor |
| 초록 | 현재 디스플레이 시장은 리지드 AMOLED를 넘어 롤러블과 폴더블 AMOLED 모바일 및 TV로 첨단제품군이 전환이 가속화되고 있습니다. 미래에는 신축성 디스플레이까지 개념이 확장될 것으로 예상되는데, 이는 신축성 소자의 기계적 가변성으로 인해 웨어러블 디스플레이, 센서 등 신체나 사물에 기존에 구현이 어려웠던 다양한 기능성을 부여할 수 있어 4차 산업 핵심 기술로 주목받고 있기 때문입니다. 현재까지 제조되고 있는 박막 트랜지스터 (TFT)의 경우 2차원 평면 구조로 제작되고 있으며 기계적인 구부림 및 접힘 과정에서 필연적으로 발생하는 응력을 중립면 설계를 통해 가장 취성이 약한 박막층을 보호하는 방법에 기반하고 있습니다. 그러나 2차원 중립면 기반의 평면 구조의 경우, 물질 자체적인 변형률 이상의 신장 특성을 부여하기는 근본적인 한계가 있습니다. 본 연구는 현재 stretchable에 유리한 구조로 주목받고 있는 wrinkle 즉, 주름 구조로 TFT를 제작하여 TFT 자체적으로 신장 특성이 발현되도록 실험을 설계하였습니다. 실험 방법론으로는 기존의 유무기 박막 적층이 상이한 열팽창 계수 특성을 갖는 점에 착안하여 간단한 후속 열처리만으로도 주름이 형성될 수 있는 열유도 주름 현상에 기반한 TFT 소자 제작법을 선정하였습니다. 구체적으로 본 논문에서는 소프트 박막으로 열경화 고분자인 폴리스틸렌 (PS)을 선정하였고, 절연체로 ALD 공정을 통해 Al2O3를 증착한 후 두께 및 열처리 온도 조절을 통해 다양한 형태의 열유도 주름 구조를 형성하였습니다. 고이동도의 소자 성능을 저온공정에서 구현하기 위해서 IGTO 박막을 채널로 사용하여 TFT를 제작하였고, 전기적 특성이 발현됨을 확인하였습니다. |
| 저자 | 김도현 , 정재경 |
| 소속 | 한양대 |
| 키워드 | <p>Stretchable Oxide TFT ; IGTO ; wrinkle structure</p> |
