학회 한국화학공학회
학술대회 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교)
권호 8권 2호, p.2317
발표분야 공업화학
제목 촉매를 이용한 탄화규소 나노와이어의 성장 및 특성연구
초록 본 연구는 탄화규소 나노와이어를 성장하고 이에 대한 특성 연구를 수행한 것이다. 나노와이어를 성장하기 위하여 탄소나노튜브를 모체로 이용하였고 공급되어지는 원료기체를 변화시켰다. 성장한 나노와이어는 30-40 nm의 직경을 가지고 있으며 입방정계이다. 나노와이어의 특성연구를 위하여 주사전자현미경(SEM), 투과전저현미경(TEM), X-선 회절(XRD)등이 사용되었다. 이와같은 반도체 나노재료의 합성과 응용에 대한 연구는 차세대 반도체 산업 등의 다양한 산업에 응용가능성이 기대되어진다.
저자 모영환 , 이경선 , 사자한 , 남기석
소속 전북대
키워드 SiC ; nanowire
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원문파일 초록 보기
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