| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2017년 봄 (04/26 ~ 04/28, ICC 제주) |
| 권호 | 23권 1호, p.1260 |
| 발표분야 | 화학공정안전 |
| 제목 | 반도체 공정에서 TEMAZ폭발사고 사례연구 |
| 초록 | 반도체제조공정 중 확산공정 배기라인에 "반응 부산물인 ZrO 2
와 TEMAZ, TMA, O 3
등 미 반응 물질"과 "퇴적되어 있는 분체"를 제거하여 배관 내 운송효율을 높이고자 힛트레이싱(현장용어:Heater Jacket)공법을 이용하여 배관온도를 80oC이상으로 올리던 중 진공펌프 후단의 신축배관이 파열되는 사고가 발생하여 사례연구를 진행하였고 사례연구를 통해 동일한 사고가 발생하는 것을 예방하고자 한다. 사고원인을 분석해 보면 진공펌프흡입측의 틈새발생으로 외부공기 배관유입과 히터자켓으로 배관을 가열함으로서 미 반응된 TEMAZ가 분해되어 발생하는 가스의 부피팽창으로 배관내 과압이 발생하였고 배관 중에서도 가장 취약한 벨로우즈에서 파열된것으로 추정할 수 있다. 이와같은 사고를 예방하기 위하여 불활성화에서 취급해야 하는 물질은 외부공기가 혼입되지 않는 구조로 하여야 하며 공정의 중요 인터록 감시체계를 재 점검하고 배관 내 반응물을 제거조치하고, 공정에 사용되는 물질의 물리, 화학적 성상을 정확히 파악하지 못한 경우에는 부산물을 처리하기 위하여 배관을 가열함으로서 물질을 산화 또는 분해를 촉진하는 행위를 금지하여야 한다. |
| 저자 | 양원백 |
| 소속 | 한국산업안전보건공단 |
| 키워드 | 화재 폭발 |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
