한국화학공학회 2016년 봄학술대회 Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model 육영근 1 , 임연호 1 , 유혜성 1 , 조덕균 1 , 유동훈 2 , 장원석 3 , 최광성 1 ( 1 전북대, 2 경원테크, 3 NFRI) 목록보기 목록보기