한국화학공학회 2008년 봄학술대회 Czochralski-Silicon(Cz-Si) 단결정 성장로에서 석영도가니의 내구성에 대한 실험 송도원 1 , 김 효 2 , 최영규 1 ( 1 (주)실트론, 2 서울시립대) 목록보기 목록보기