한국화학공학회 2008년 가을학술대회 고 농도로 안티모니(Sb)가 도핑된 CZ-Si 단결정에서 산소농도 제어에 대한 실험 송도원 1 , 김 효 2 ( 1 (주)실트론, 2 서울시립대) 목록보기 목록보기