한국화학공학회 2010년 봄학술대회 The effects of point defects on the oxygen precipitation of Si wafer grown by Czochralski method 송도원 1 , 김 효 2 , 이상훈 3 ( 1 (주)실트론 / 서울시립대, 2 서울시립대, 3 (주)실트론) 목록보기 목록보기