한국화학공학회 2002년 봄학술대회 마이크로 써멀 사이클 시스템의 모델링과 제어 성수환 1 , 박선원 2 , 윤대성, 임근배 ( 1 한국과학기술원 화학공학과, 2 삼성종합기술원 MEMS Lab) 목록보기 목록보기