한국화학공학회 2002년 가을학술대회 Arsenic 도즈 량에 따른 코발트 실리사이드 표면위의 이상 산화 조일현 1 , 성낙균 2 , 최경근 3 , 이종근, 이원규 ( 1 하이닉스 반도체, 2 System IC (연), 3 Logic 공정) 목록보기 목록보기