HEPA、ULPAフィルターとは？
定格流量で粒径が0.3μmの粒子に対して99.97%以上の粒子捕集効率をもつエアフィルター。空気清浄が要求されるあらゆる分野で使用される超高性能フィルター。
ULPAフィルター（Ultra Low Penetration Air Filter）
定格流量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.9995%以上の粒子捕獲率をもつエアフィルター。半導体工場のような高い清浄度が要求されるクリーンルームや生産装置等に使用される超高性能フィルターで、HEPAでは除去できない0.1μｍ程度の微少粒子も除去できる。
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