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なりたん7559

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2005年11月23日
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カテゴリ: 日記。
今「位置合わせ」というものに悩まされている。。。

やる気のない人と言うしかいいようがありません。
分かりましたか?ほかきゅ~さん。

デバイス作製するために、電極つけたりエッチングするわけですが、
そのときにフォトリソグラフィーや電子線リソグラフィーという
素晴らしい技術を使ってパターニングを行います。
工程はさまざまで、僕の周りでは18工程から2工程行っています。
このとき重要なのが「位置合わせ」というものです。

位置合わせ精度がないと、電極が重なったりして、、
ま~~~大変!!!

2週間前に作ったTAKAFFINのマスクパターンの話です。
なんと位置合わせができないらしい。。。
なんでこーゆーことが起きるか分からん!!!!
電子線描画だし、そんなことないと思うけどな~
ひ~~~~~でぶ。





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最終更新日  2005年11月24日 03時50分55秒
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