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![図解入門最新よくわかる半導体プロセスの基本と仕組み[第4版][佐藤淳一]](https://shop.r10s.jp/book/cabinet/2457/9784798062457.jpg)
本書は半導体ビジネスに興味がある方すべてを対象に、専門外の方にもわかりやすく半導体プロセスを解説した入門書です。
第1章 半導体製造プロセス全体像
第2章 前工程の概要
第3章 洗浄・乾燥ウェットプロセス
第4章 イオン注入・熱処理プロセス
第5章 リソグラフィプロセス
第6章 エッチングプロセス
第7章 成膜プロセス
第8章 平坦化(CMP)プロセス
第9章 CMOSプロセスフロー
第10章 後工程プロセスの概要
第11章 後工程の動向
第12章 半導体プロセスの最近の動向
シリコンが半導体になる製造工程を俯瞰。半導体製造工程の流れが図解でよくわかる。
半導体製造プロセス全体像/前工程の概要/洗浄・乾燥ウェットプロセス/イオン注入・熱処理プロセス/リソグラフィプロセス/エッチングプロセス/成膜プロセス/平坦化(CMP)プロセス/CMOSプロセスフロー/後工程プロセスの概要/後工程の動向/半導体プロセスの最近の動向
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