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2021.03.23

無理していたんだろうなぁ - ルネサス(日立)那珂工場火災

カテゴリ：普段の生活

30 代前半まで半導体製造装置会社に勤めていた。後工程の装置だ。日立那珂工場の名前も良く耳にしていた。あの当時は高崎とか大甕にも半導体製造拠点があった。どうなったのだろうか？ニュースネタにたまにはダラダラと書いてみる。

勤め先も国道 50 号線沿い内陸工業地帯の一角だった。良く営業エンジニアが行っていたなぁ。あんまり深く触れると、勤め先の当てが付いてしまうな...

ルネサスの偉い人が、1 ヶ月で操業再開と言っていた。うーん、ラーメン屋でボヤ出した後に営業再開する感覚で言っているのかなぁ。ちょっと会社情報を見てみる。金融出身か...

技術を解っていないような。お金という尺度で、問題点や現状を判断しているのだろう。お金は誰かの目を通して付けられた値だ。物理的な状態に対して情報が失われた値だ。

半導体製造装置の火災対策は特殊だ。電源ラインにはアンペア漏電遮断ブレーカーがあるのは当然として、非常事態発生時には完全遮断するマグネット・コンタクトが入っている。装置本体、周辺に配置する制御コンピュータ、モニタ、コントロールボックス、全てが電源断になる。

温度異常、冷却水循環異常、機構リミット、手動停止ボタン、そして煙探知機だ。煙探知機を内蔵するするのは半導体製造装置の事情だと思っている。後工程装置であっても、ある程度のクリーンルームに設置される(前工程にも入る)。ちょっとした煙でもクリーンルームを汚染してしまう。視認できずに臭いでしか分からない程度の発煙でも遮断する。

放射性物質アメリシウムを使った煙探知機だ。危険物質なので、当時代替品を検討していた様だった。自分が勤めていたときには、全面的に代替品採用に踏み切らなかった記憶がある。職場で放射性物質マークが付いた部品を当たり前のように目にしていた。

一度煙感知器が動作したところを見たことがある。廊下に部品が焼けた臭いが漂ってきた。「え？何処？」開発用の装置が並ぶ実験室に入って、臭いが強くなる方向を探し、ブレーカーが入っているけれど、コンタクト断になった装置を探した記憶がある。実験室に入っても煙を視認できず、装置を探し回った。「止まっている。これかなぁ。何処の課で使っていた？終夜運転？」なんて言いながら、探して「積もりの稼働状況」と「今の状況」に食い違いがあるか確認して回った。

恐らく他の半導体製造装置も、厳重な安全装置が入っているはず。炎が上がるまで止まらない装置なんてあるのだろうか？まさか安全装置を切っていたか、リミットを上げていた？

工場で初号機に添い寝するようにデバッグをしていたときに、他の架組中の装置を目印にフロアを移動していたら、「あれ？別の場所？」と迷ってしまったっけ。

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