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最後の最後で……

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高エネと大電にやられたよ。

高エネはディスチャンバの真空が落ちるし、大電はレシピが飛ばないうえにロット回収したら今度はポートが前進しなくなっちゃったし。

設備のＩ氏と電話対応で２時間ぐらいねばったけど、原因不明でついに挫折。
大電は21日の朝まで放置になりました。

せめてもの救いは高エネは動いた事かなぁ。

今日「も」グダグダでした……

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