４．５．２項・・・・＜化合状態の求め方＞ | 問題解決には「まんずやってみれ！」

100万ポイント山分け！1日5回検索で1ポイントもらえる

2544030

ホーム | 日記 | プロフィール

【フォローする】【ログイン】

フリーページ

論文「問題解決は全身全魂で」（に改名）第2章

< 新しい記事

新着記事一覧(全14955件)

過去の記事 >

全て | カテゴリ未分類 | 論文 | 美味しいもの | グチ | 問題解決研究所 | 歩道の自転車 | 確率・統計 | 秋田 | 子供 | 気持がいいこと | 健康 | 教育 | 音楽 | プロ | ついている | 楽しいこと | 天気 | 変体仮名 | うれしいこと | 母 | わが家 | 栃木 | 面白いこと | 栃木県さくら市 | 不思議なこと | 新論文「問題解決は真心で」 | 新論文 | 氏家弁 | 付き合い | 第3章 | 未記入

2008年02月20日

私がこの「大事な」結果についての説明を始める前に、エスカで、化合状態の指標として測る「化学シフト」について簡単に説明します。

＜化学シフトとは？＞

エスカ（ESCA)とは、Electron Spectroscopy for Chemical Analysisの略号です。その名の示すごとく、化合状態が測定できるとされています。

測定には、真空中で、X線を試料に照射して、出てくる電子（光電子）のエネルギーと数との関係（スペクトル）を記録します。エネルギーの値は、元素の種類によって変わり、同じ元素の同じ電子のエネルギーでも、化合状態によって変わります。

この、化合状態によるエネルギーの変化を「化学シフト」と呼んで、化合状態に指標とします。

また、得られたそれぞれのピークのエネルギーの電子数（電子線強度）から、ある化合状態の元素の量の情報が求められます。即ち、組成分析です。

測定の一例をお見せしましょう。前に、酸化膜のあるAlについてのスペクトルを紹介しましたが、今回は、Si酸化膜（SiO2：二酸化シリコン）/Si構造の試料の測定結果です。

その頃、このような試料の研究がかなり流行していました。ほとんどの場合、測定した化学シフトの値を化合状態であると考えて、Si酸化膜/Si界面にあると考えられる、SiO2でもSiでもない相を検出しようとしていました。この相がSi半導体素子の電気特性を劣化させると考えられていたからです。

図４．２０が測定例の一つで、電子の運動エネルギーの低いピークがシリコン（Si)の上を覆っている二酸化シリコン（SiO2)のもので、エネルギーの高いのがSiのものです。これら二つのエネルギーの差が化学シフト、化合状態の違いによるエネルギーのずれ、です（図４．６

図４．２０　厚さ２，３nmの酸化膜のあるシリコン（Si）のエスカ・スペクトル
（Alについては図４．６参照）

Ｓｉと酸素（Ｏ）が結合する（Ｓｉが酸化する）と、Ｓｉの電子が酸素（Ｏ）へ移動して、
Ｓｉは電子が不足した（正に帯電した）状態になります。ですから、負の電荷を持っている電子がＸ線のエネルギーをもらって飛び出そうとすると、正の電荷によって引き止められる傾向になるので、エネルギーの値が小さくなってしまうのです。

お気に入りの記事を「いいね！」で応援しよう