下北沢八郎の場合

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2006年04月08日

シリコン酸化膜

カテゴリ：半導体

シリコン酸化膜

　シリコンについては多くの本でその物性について解説がなされているが、それに比べるとシリコン酸化膜については圧倒的に少ない。まだ文献を見るよりも、論文などを見る段階なのかもしれない。今それはできないもんなあ。

　半導体の中でシリコンが最も隆盛を誇っているのは、シリコン自体よりもシリコン酸化膜の発見が大きいと書いてあったが、なんの本だったかな。忘れてしまった。ダメだな、記憶力が。

　絶縁膜の検討の歴史って広く知られているのかな。ぼくはよくしらないけれども。これもショックレーあたりがやったのかな。それともどこかの会社の技術者かな。ショックレイもベル研だった。

　酸化膜というとどうしても地味な感じがするので、とても大事なのだが敬遠してしまうところがあった。だめだね、くだらん先入観は。最近までシリコン酸化膜がアモルファスということを知らなかったんだから大バカ野郎だなぁ。

　なんとかトラップとかなんとか中心とか耳にするだけでも、以前は体に拒否反応が走っていたし。今は結構好きになっているなんて昔じゃ考えられない。今の状態は普通じゃないことはないんだろうが。

　ある本によると、数原子まではシリコン単結晶の結晶性を引き継いで、その後 テトラヒドラ（正四面体） が無秩序に並んだ非品質ガラスになる、と書いてある。最小単位はやっぱり整った形をしているのね。

　テトラヒドラって怪獣の名前みたいでなんか強そうだな。ゴツゴツしたゴジラのような肌触りを想像してしまう。

　テトラヒドラがシリコン酸化膜の基本構成要素か。シリコン１個に酸素４個になっている。それぞれが完全に独立しているわけじゃなくて、隣の分子と酸素を共有するようになっている。言葉にすると表現しにくいなあ。本当かなあ。どうやって調べたんだろう。

　テトラヒドラどうしを結びつけている力ってなんなんだろう。やっぱ論文を見ないとだめか。

　構造については、この本には1ページしか載っていなかった。ほかの本では全然見つけきれなかったし、やっぱり論文を探さないとだめなんだろうなあ。構造が分かると直感的な理解もしやすいのだが。

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