全108件 (108件中 1-50件目)
今日はよく晴れました。昼過ぎまで快晴で、太陽電池も10kWhという今年最高発電量を記録しました。これだけ明るくなったということは春が近づいているということです(今日は寒いですが)。私も、今日は、論文に力を入れています。腐食の前に書いたこと、腐食について書いたことと、今書いていることがうまくつながるように、腐食の項をまとめましょう。つづく
2008年01月31日
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温暖化、大気汚染、太りすぎ、ゴミ(放射性のあるものを含む)問題などなど・・・・・贅沢になり、無駄が多くなったからです。人間が自分勝手ということもあります。つつましく生活していれば起こらないような問題に思えます。勿論、頭を使う必要はありますが。ガソリン税が道路整備に必要だとか(自民党)、それに反対して、ガソリンを安くしろ(民主党)とか言っている場合ではないです。わが国は京都議定書の約束(数値目標)を守ろうとしていません。現状では、数値のプラスとマイナスが違っています。アメリカと一緒になって、違う提案でごまかそうとしています。2,3日前、私はNHKテレビを見て、驚きました。ロンドン市が温暖化防止に向けて、本気で努力しているようなのです。わが国でも、人民はささやかな努力をしています。会津の高校では、暖房費を節約するために、設定温度を下げたり、使っていない部屋でストーブを消したりしています。子供達も厚い靴下を履いたり、膝がけを使ったり、女の子もズボンを履いたりしていました(今朝のNHKテレビ)。無駄をなくして少しでも給食費を節約しようとしている人もいます。でも、この狭い日本でも、誰でも自動車に乗るようになり、バスや電車はガラガラになったりしています。地方へ行くと、道を歩いている人が非常に少ないです。ちょっとした買い物でも自動車です。子供をどこへでも自動車で連れて行ったり、送って行ったりしています。野菜など食べられるものも沢山無駄にしています。果物の木があっても、実を採らない家もあります。畑には収穫しない野菜が放置されたり、捨ててあったりしています。テレビでもグルメ番組が多く、大食い競争みたいのが流行しています。回転寿司などへ行くと情けなくなります。子供に好きなだけ好きなものを食べさせているのが見受けられます。大人も勿論沢山食べているようです。捨ててしまうのも結構あるようです。昔の人達は食べられるものを無駄にしていませんでした。飢え死にする人達が沢山いたのですから。今でも、外国には飢え死にする人が沢山います。思い出してみたら、小学校のとき、教室に暖房はありませんでした(神奈川県)。また、大学の入学試験のときも暖房はありませんでした(東京)。つづく
2008年01月31日
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私が手がけた研究の多くは、私にとって新しいものでした。私なりに、いろいろ考え、判断、行動して、新しいことを見つける(に気づく)ことは、大きな喜びでした。その度に、興奮したり、感動したりしたのですが、今になって、そのときの私の気持(心理状態)を書こうとしても、うまく表現できないのです。しかし、考えてみたら、研究の多くは、自分の興味でやっていたのではありませんでした。一応女房と子供3人を養っていました。研究の仕事をしてお金をもらっていたのです。そして、多くの場合、できるかどうか分からない仕事をしなければなりませんでした。ですから、一つの研究を始めるときには、興味より、不安とか、恐怖の方が多かったと言えるでしょう。与えられた仕事には拒否反応を示す傾向のある私ですから。研究を進めているうちに、面白くなったのは確かですが、終わったときには、興奮より、安堵の気持の方が強かったかもしれません。一方、私が自分の意志で始めた研究は、仕事の合間を見つけて、というか、時には、仕事の時間を割いてまでやりましたが、一筋縄では行かないものが多かったです。やっている内容が難しいからです。少しやっては一休みというようなことがしばしばでした。これらの研究では、新しい発見をしたり、何かを学べたと思ったものが多くて、そのときは、興奮して、人に自慢したり、自分で喜んだりしていました。しかし、細かいことをあまり思い出せないのです。そのときの心境を詳細に正確に表現できないのです。これは、もしかしたら、私の「発見」が大したことではなかったからかもしれません。そのときは偉大なことをやったと思っても、大体、当たり前のことが分かっただけでした。今になって大げさに書くほどのことではないように感じられるということもあります。つづく
2008年01月30日
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3週間近くぶりに、10℃以上になりました。日が出ていると、ジャケットを着て歩くと汗をかくぐらいでした。しかし、午後は曇ってきてしまいました。今まで気づかなかったのですが、水仙やオオイヌノフグリも咲いていました。
2008年01月30日
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図らずも、エスカの日常の応用で、もっとも役に立つ測定項目になりました。分析装置(化合状態、組成等)としての応用を考えていたので、この有用性(表面清浄度)が分かったときには少しびっくりしました。化合状態や組成の分析がそう簡単でないことが分かり、エスカの使い方について悩み始めたところだったので、とてもうれしかったことを覚えています。考えて見れば当たり前のことなのですが、表面の酸化膜の厚さや汚染物の量を知るのは、一般には、そう容易ではないので、表面清浄度に気づいたことで、表面(界面)の研究で一歩踏み出せたという感じがしました。工場から来る多くの相談は、酸化膜厚に関係したものが多かったので、工場のいろいろな問題解決にも貢献しました。また、膜厚のことを考え、実際に、シリコン(Si)の場合について、膜厚の値を求めようとしたお陰で、エスカで何ができ、どういう問題があるかをかなり理解できました。さらに、腐食の研究でも、耐食性がもっとも高かったAl-Mn(マンガン)薄膜を実際に使うときの問題解決で、上記表面清浄度が役に立ちました。Al-Mn薄膜の欠点は、金線熱圧着のときの接合性が悪いことでした。Al薄膜配線に比べると、同じ表面清浄度でも、接合性が悪くなってしまったのです。私達は、接合用電極の表面処理方法を探さなければなりませんでした。チェック機能として、エスカで各種表面処理後のAl-Mn薄膜表面を調べることにより、Al薄膜を使った場合と同じ接合性での金線を接合(熱圧着)を可能にしました。因みに、この検討では、酸化膜厚の値は求めていませんし、使っていません。私の定義した「表面清浄度」と接合性(せん断接合強度)との対応付けができたのです(工業的には膜厚そのものの値を知らなくてもいいのです)。これがエスカの初めて(私達の)の定量的応用例となりました。x1)x1)岩田誠一、石坂彰利、山本博司:「Al蒸着膜へのAu線熱圧着性に及ぼすAl酸化被膜の影響」、日本金属学会誌、45(6)(1981),603-609.(題名中のAuとは金のことです。)これは、エスカが役に立つということを示した、私達の最初の論文です。なお、この論文はアメリカの国防省の資料として英語にも翻訳されています。ここで注意していただきたいのは、私が、表面研究者としてではなく、半導体分野の材料研究者として、エスカを応用しているということです。表面研究者ですと、酸化膜厚の値を求めたいのですが、値を求めるまでやると、非常に大変で、答が出ないかもしれません。私としては、膜厚そのものが分からなくても、その「違い」が数で表せれば、検討している特性(ここでは接合性)との対応付けができ、それでよしとするのです。もう一つ付け加えると、私達が金(Au)熱圧着性の研究を行なった後、工場でのこの作業は自動化されて、問題も極めて少なくなりました。つづく
2008年01月30日
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今書きつつある論文「私の問題解決の考え方」のことです。新しいことができたときや、分かったときの興奮とか、感激とか、感動などをうまく伝えられないのです。初めはつまらないと思った研究がだんだん面白くなってきたことも何回かありました。時間を忘れるほど夢中になって、実験をしたり、考えたりしたことだって何回もありました。うまく行かなくて、正直なところ、もうやりたくないのに、やると言ってしまったことをやり遂げるまで苦労したこともあったのです。私の、半導体関係の学術論文には書かないことですが、問題解決の論文には、このような「心の問題」についても書きたいのです。こういうことをうまく言い表すことができたら、読む方も面白いのではないかと思うのですが。私の日本語の力では無理なのでしょうか。英語では勿論無理です。
2008年01月29日
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私達の大好物で、何年も食べ続けているものです。1斤半190円を何年続けてきたのでしょうか。フランスパンに使うような粉を使っていて、周りの皮(こんがり焦げたところ;耳)が美味しいのです。焼いた日の午後、そのままでバターをつけて食べるのが一番美味しいです。両端の皮のところが最高です。昨日、200円になっていました。つづく
2008年01月29日
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夕飯はカレーライスのはずでした。そこで、昼前に、私がいつもの骨付き鶏肉入りタイカレーを作り始めました。ところが、外出していた女房が西洋きのこ(マッシュルーム)を買ってきたのです。そして、カレーに入れろと言うのです。私がカレーに全部入れるのはもったいないと言って、ちょっとしか入れなかったら、女房が急に夜はマッシュルームオムレツにしたいと言い出したのでした。結局、マッシュルーム、ベーコンとネギのオムレツになりました。それに、私の作ったカレーをソースとしてかけ、小松菜の炒めたものを添えました。ご飯(ヒトメボレ)とよく合った、美味しい夕食になりました。食前酒には蜂蜜入りの高麗人参酒(ちょっと咳が出るので)で、食後はグレープフルーツとウーロン茶でした。なお、もうカレーもかなり美味しくなっています。
2008年01月28日
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次の腐食の研究では、Al(アルミニウム)酸化膜の化合状態をもっと知る必要があると考えました。一つには、耐食性向上のために、Al配線表面を酸化膜で覆うことを対策の一つとして考えて、酸化状態の評価が重要だと考えたことです。もう一つは、AlにMnを添加した薄膜で、金線の接合性が「膜厚」は同じでも、Alだけの場合より悪いことが分かったことです。つまり、化合状態が違うと考えられたことです。これらのことから、Al酸化膜の化学シフトの検討を始めました。x)x)岩田誠一、石坂彰利:「ESCAで測定する絶縁薄膜の化学シフトに対する疑問」、日本金属学会誌、42(10)(1978)、1020-1021.これが、私達の、エスカの最初の論文でした。たった2ページの論文ですが、これは記念すべきものでした。これが、そのときから20年以上にわたるエスカ研究の種になって、最後に、半導体素子の電気特性を劣化させる微量欠陥の検出を可能にしたのです。
2008年01月28日
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図4.17で、酸化膜のSiが多くなると(酸化膜が厚くなると)、左側(電子の運動エネルギーの低い)ピークが大きくなって、右側のそれ(下地のSiのピーク)が小さくなります。と言うことは、二つのピークの強度比から膜厚が分かるということです。金線熱圧着の研究では、下地の金属Al(アルミニウム)と酸化Alの強度比を表面清浄度と定義して、この値を測定することによって、Al表面状態を評価しました。この表面清浄度Sで、実際に、Alの表面状態と接合性(金とAlの接合強度)との対応付けができました。当初、Al酸化膜の化合状態とか組成に着目してエスカの測定を始めたのですが、検討のごく初期に、「酸化膜厚」の影響の重要性をまず認めることができたのでした。酸化膜厚(d)は、上記強度比(表面清浄度)(S)の関数として、次のように表せます。d=Alog[B/S+1]AとBは、定数で、酸化膜の種類や測定条件などによって決まります。これらの定数の値は前もって分かっていませんから、膜厚そのものは、特別の場合(Siの酸化膜;後出)を除いて、値として求められません。しかし、酸化膜が同じもので厚さだけ違うと仮定して、上記強度比を比較することはできます。厳密には膜厚と言えませんが、金線熱圧着の接合性と上記強度比Sとの対応付けができたのです。他の応用でも、実際の膜厚の値は分からなくて、相対的な比較のためだけでも、上記強度比を、定量的な指標として、役に立てられることが多いのです。
2008年01月28日
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5時半に起きて居間に来たら、床の温度は7℃(これまでで最低)でした。エアコンと灯油ストーブ(小)を両方つけましたが、なかなか温度が上がりません。我が家では夜中(夜11時から朝7時まで)の電気料金が安いので、朝7時までに暖かくしようとしています。7時前に、お湯を沸かして、一日分のウーロン茶を魔法瓶に入れます。ここのところ、湿度も異常に低いのです。20%以下になります。少し咳が出るので、水分を沢山取り、嗽をするようにしています。娘と子供達が来ると、風邪をうつされることがあります。熱を出すまでは行きませんが、喉が痛かったり、咳が出たりするのです。
2008年01月28日
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今日、午前中、日がよく当たっているので、図書館へ行きました。静かな道を歩いて、30分足らずで着くし、歩くと気持がよく、考えることもできるので、なるべく歩くことにしています。これまでは、寒い日でも、ちょっと歩くと汗をかくことが多かったのですが、今日は、着く直前まで、汗をかかないし、顔や頭が冷たかったです。今度の冬は、今年になってから寒いのです。また、不整脈も出てきていますし、今日など、歩いていて、少しフラフラしました。つづく
2008年01月27日
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エスカが役に立つことから説明しましょう。前項(4.5.1)では、まずよく見る(光学顕微鏡ぐらいまでの倍率)ことが大事だと言いましたが、一通り、できる限り観察したら、もう少し細かい分析が役に立ちます。エスカ(X線光電子分光)では、表面にある元素の種類や化合状態の違い(ある程度)も分かるのです。金線熱圧着の研究では、金線を接合させる相手のアルミニウム表面の酸化の度合いや汚れについて調べることができました。これらは肉眼でも見えないし、顕微鏡でも見えません。<酸化膜の厚さも分かる>昨日の図4.17は、酸化膜が表面にあるシリコン(Si)のエスカ測定結果です。酸化したSiと下地の酸化していないSiとのピークの高さの大小は酸化膜厚に依存しているのです。二つのピークの強度比(概略、高さの比)から膜厚が分かるのです。
2008年01月27日
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5年前、秋田に住んでいた頃、冬、友達に牡蠣鍋を食べに行こうと言ったら、今は牡蠣のシーズンではないよと言われてしまいました。しかし、昨日、能登半島で、牡蠣が美味しいことを紹介していました。岩牡蠣でない牡蠣です。穴水というところで養殖していました。一方、太平洋側でも、この頃は、夏、岩牡蠣が採れるようになってきました。つづく
2008年01月27日
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お昼は稲庭うどんに、油揚げと小松菜の茹でたものに柚子を添えました。夜は、食前酒に十年物の梅酒、食べたのは、小松菜、ベーコン、木耳と卵の炒め物と赤カブの甘酢漬けで、ご飯はヒトメボレでした。食後は、リンゴとウーロン茶でした。小松菜は地元(埼玉)のもの、緑が濃くて、丈が短いものでした。これが、昼も夜も、うまさの源だったと思います。
2008年01月26日
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日はかなり強くなってきました。昨日と今日で、我が家の太陽電池は9と8kWh発電しました。9kWhは最近では最高です。気温は低いですが、春の気配はあります。昨日、ホトケノザが咲いているのを見ました。
2008年01月26日
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株を売ったり、買ったりして儲けるには、その値段の変化をよく見ていなければいけません。1日の間でも、株価が大きく変わってしまうこともあるのです。この間もNHK職員二人が株を買うために、なんと、勤務時間中に自宅へ帰って注文していたのです。これにはあきれてしまいました。私も、3日ほど前、株をほんのちょっと買いたかったのですが、その日は朝から用事があって、東京へ行く用事がありました。そこで、その前日まで、その株の値段は毎日下がっていたので、その日の朝の値段で買う注文を前の晩に出してしまいました。そうしたら、次の日、夜帰ってきたら、その株の値段が、午後になって、朝買った値段より大きく下がっていて、馬鹿なことをしたと悔やむことになりました。私も、パソコンの前で値段を見ていられたなら、もっと安く買えたはずなのです。しかし、NHKは、上記のように、勤務時間中に、家へ帰る余裕があるところのようです。もしかしたら、もっともっと多くの職員は、携帯できるパソコンを持っていて、仕事の合間に、株の取引をやっているかもしれません。携帯電話でも株価の情報を得て注文できるのではないかと思います。私の場合、どっちみち、大した額ではなかったのですが、お金のこととなると、多くの人間はおかしくなるようです。考えてみたら、学校にだって、お役所にだって、会社にだって、こういう人間はいっぱいいそうですね。インサイダー情報まで持っている人は少ないかもしれませんが。
2008年01月26日
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私を表面(界面)の研究に夢中にさせた実験結果の説明から始めましょう。(前置きの後)そして、これは、研究に用いた分析手法の、もっとも大きな問題点を私に認識させた結果でもありました。説明に入る前に、私が用いた分析手法について簡単に述べましょう。<化合状態が測れる?>エスカ(ESCA)とは、Electron Spectroscopy for Chemical Analysis の略号です。その名のしめすごとく、化合状態の測定が可能とされている分析手法です。真空中で、X線を試料表面に照射して、出てくる電子(光電子)のエネルギーと数との関係(スペクトル)を測定します。いろいろなエネルギーの値は、元素の種類や、それぞれの元素の中の電子の種類(いろいろなエネルギーの値をとる)によります。同じ元素の同じ電子でも、元素の化合状態によって、エネルギーの値は変わります。この、化合状態に違いによるエネルギーの変化を「化学シフト」と呼びます。即ち、化合状態についての情報が得られるということです。また、電子の数(電子線強度)から、元素や化学種(例えば、酸化物など)の量に関する情報が得られます。組成分析です。図4.17は、2,3nm(ナノメートル:1mの十億分の1) の厚さの酸化膜が表面にあるシリコン(Si)のエスカ・スペクトルの一部分(2pと呼ばれる電子のもの)です。 図4.17 極薄酸化膜で覆われたシリコンのエスカ・スペクトル(Si2p電子の部分)X線を試料に照射すると、表面近くの電子が放出されます。その運動エネルギーが図(グラフ)の横軸です。縦軸は放出される電子の数(電子線強度)です。スペクトルには、二つの山(ピーク)があります。両方ともSi2p電子のものなのですが、運動エネルギーが大きい方が下地のSi(酸化されていない)のもので、小さい方が酸化膜のSiのピークです。Siと酸素(O)が結合する(Siが酸化する)と、Siの電子が酸素(O)へ移動して、Siは電子が不足した(正に帯電した)状態になります。ですから、負の電荷を持っている電子がX線のエネルギーをもらって飛び出そうとすると、正の電荷によって引き止められる傾向になるので、エネルギーの値が小さくなってしまうのです。アルミニウム(Al)でも同じようになっていますが、酸化アルミニウムの化学シフトをエスカで測定しようとしたら、変なことが起きてしまいました。これは、酸化膜の化合状態の測定が難しいということを示す結果であったとともに、私には、とても面白いものでした。しかし、その前に、エスカが役に立つことを。つづく
2008年01月26日
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これまでの研究で、半導体分野の材料研究について少しずつ理解してきました。また、半導体関係の工場の様子も分かってきました。手がけた研究は皆初めてのものばかりでしたが、自分なりに努力すれば、なんとかやっていけそうだという感触も得られました。金線熱圧着の研究、アルミニウム配線の腐食の研究、それから、ときどき工場で起きる不良の解析から始まった研究、そして、自分でやろうと計画している表面(界面)評価の研究などを、「まんずやってみれ!」の精神で、かなりメチャクチャに進めてきました。この過程で、世の中にはまだ分かっていないことやできないことが沢山ある。ということをつくづく認識しました。ですから、難しい問題にぶつかっても、怖がらないで、問題に立ち向かえるようになってきました。また、表面(界面)状態の評価が、これからの研究で重要な位置を占めるであろうと確信したのでした。この頃には、かなり苦労して手に入れた表面分析装置(エスカ;X線光電子分光)が威力を発揮し始めていました。それと同時に、大きな問題点も分かってきてしまいました。つづく
2008年01月25日
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晴れているのに。こういうとき、日本海側はもっと寒くて、雪も降っているのでしょうね。私も、この頃、また秋田へ行きたいと思い始めたのですが、雪と寒さのことを考えてしまいます。それに、今年は、不整脈の方が無罪放免になっていないのです。まだ薬を飲んでいます。つづく
2008年01月25日
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昨日、雪が沢山降り(もう残ってはいませんが)、今日も北風が強くて寒いです。しかし、近所では、紅梅やロウバイがもう咲いています。また、株価も、これらとは関係ありませんが、少し持ち直してきたようです。人間によってうまく制御できないという点では同じですが。
2008年01月24日
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「もはや日本は経済が一流と呼ばれる状況ではない」と言ったそうです(東京新聞朝刊)。大臣自らがそんなことを言わなければならないのでしょうか。自分の言うことの影響を考えているのでしょうか。これでは外国人投資家をもっと喜ばせてしまいます。株価がもっと下がり、日本の優良企業の株が安い値段で外国人に買われることになってしまうでしょう。
2008年01月24日
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「新しいこと」を発見した喜び、などと昨日は書いてしまいましたが、実際には、表面分析手法に大きな問題が見つかって困った、ということなのです。でも、それまでの検討で、エスカ(X線光電子分光)が役に立つということを確信するようになっていたので、絶望的になるほどではありませんでした。問題というのは、測定することが結果を変えてしまうということでした。ですから、なんらかの補正法があるのではないかと考えられました。つづく
2008年01月24日
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腐食の研究の進行中に、表面研究で体験したのです!具体的には、極薄アルミニウム酸化膜の表面分析で、エスカ(X線光電子分光)による測定中に、X線の影響で、アルミニウム酸化膜の「化合状態」が変わっていく過程を観察することができたのです。
2008年01月23日
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夕べ、気分がよくなく、今日は雨か雪だと思っていました。今朝早く、東京へ向かう途中、6時半ぐらいから、雪が降りだしました。なんと、こんな日に、母は病院で検診です。母のところで軽く朝食をとり、タクシーで病院へ行ってきました。一つの科で定期健診をして、もう一つの科で薬をもらいました。雪が降っていたせいか、思ったより早く済みました。売店で、本や食べるものを買って、なんとか無事に母のところへ帰れました。それから、私は用事を一つ済ませて家(埼玉)に帰りました。東京は午後になっても雪が降っていましたが、家の方はもう雨になり、少し明るくなっていました。今日は、本当に寒かったです。家に帰っても、寒くて、温かい牛乳を飲み、直ぐ風呂に入りました。これでやっと少し暖かくなり、布団に入って、ひとっきり寝てしまいました。起きてから、ぶどう酒をちょっと飲み、温かい夕食を食べて、やっと生き返ったような気分になりました。ビーフシチューと、ルッコラ、パセリと白菜のサラダ(柚子ひまわり油ドレッシング)でした。
2008年01月23日
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日本で業績が好調な、鉄鋼、自動車、電機などをはじめとする多くの企業の株価が大きく下落しています。新聞(例えば、東京新聞朝刊;「ニッポン株急落の底流」)やテレビは、企業の閉鎖性とか、透明性のなさとか、企業に対する不信感(偽装や不正などについて)を攻撃し、だから、外国人投資家に敬遠されて売れず、株価が下がるのだと日本企業を責めるような論調です。また、日本人も日本株から逃げているみたいです。投資信託にも日本株を組み入れなくなっているそうです。英国へ行って、日本株をもっと買ってもらえるように宣伝などもしているようです。買う人がいないと株価は下がるのです。これでは、外国人投資家の思う壺ですよ。安くなったところをごそっと買おうとしているはずです。こういうときこそ、私達が自分の国の優良企業(沢山あると思います)を支えなければいけないのです。国をあげて。こんなことをしていると、外国人投資家に日本が乗っ取られてしまうのではないかと心配です。つづく
2008年01月22日
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「碾く」は、臼(うす)ですって、くだくことで、「挽く」は、刃物などを使って、くだいたり、つぶしたりすること、だそうです。(三省堂国語辞典) でも、あまり区別しないで使うこともあるようです。秋田の由利本荘市の石碾(いしびき)屋さんでは、実際に石臼で人間の手で碾いた粉を使っているので、石碾屋と名乗っています(今休業中)。つづく
2008年01月22日
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昨日、蕎麦掻きに使った蕎麦粉です。「玄そば」とは実の殻まで碾(ひ)いたもので、黒いものです。しかし、この粉は、見たところ、殻を抜いた、「抜き」と同じように見えました。品種は「しなの1号」だそうです。インターネット(www.sobaland.com/sobako.htm)で調べたら、「挽きぐるみ」というのは、外側の殻(黒くするもの)だけを取り除いてから、全部碾いたものだそうです。
2008年01月21日
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この研究をやっていた頃が、公私ともに、多分、私のもっとも忙しい時期であったと思います。金線熱圧着の研究の後、直ぐに、アルミニウム配線腐食対策プロジェクトの仕事になり、またもや、ほとんど素人の状態で、新しい研究にとりかかったのでした。これと並行して、新しい表面分析装置を半導体関係の実用的な問題解決に応用する研究も進めていました。これも素人の状態で。会社の上司(部長)には、この研究をやってはいけないとは言われませんでしたが、この装置は私の「おもちゃ」と言われていて、あまり期待されてはいないようでした。また、私は大勢の人達と協力してやる仕事はあまり好きではないのですが、上記のプロジェクト研究では、事務局みたいな役になってしまい、会議の招集、司会から議事録を書くことまでやらされていました。さらに、この頃には、工場で発生する問題についての相談も来るようになりました。そして、社外での講演、論文や記事の執筆等も加わりました。家に帰っても、その頃には3人の子供がいて、かなり忙しかったです。つづく
2008年01月21日
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夕べの天気予報では、夜中から雪になるとのことでしたが、起きて外を見ても、雪は全くありません。天気が悪くなるときに関しては、私の方が天気の予測がうまいみたいです。夕べ、私は割りと気分が良くて、雪が降るような気はしないと言っていました。
2008年01月21日
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今回は、長野産(八ヶ岳の麓)の蕎麦粉を使いました。プクプクして柔らかい、熱々の蕎麦掻きを、辛目の大根おろしと茹でた小松菜を添えていただきました。思いのほか、うまくできました。んめえ!食べた後も、お腹の気持がとてもよかったです。つづく
2008年01月20日
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16日の日記(日本人の習性?)に外国人投資家について書きましたが、日本の財界や霞ヶ関の「仰米主義」(「げいべい」と読むのでしょうか;米国に迎合する傾向?)を、日本経済新聞の社説等を引用して、ロナルド・ドーア氏(ロンドン大学政治経済学院名誉客員)も指摘しています(東京新聞朝刊;「時代を読む」)。外国人投資家が日本にそっぽを向くのは、日本が悪いからだという上記社説について疑問を投げかけています。米国投資機関の日本の製紙会社が見放された(買収されなかった)と言って悲観的になったりすること、外資系株主が多いことを社長さんたちが自慢しているように思われること、彼等が、毎年、ウォール街へお参りしていることや、日本の財務省役人がロンドンやニューヨークへ、日本の国債を売り込もうとしていること、など、いろいろ心配な例を挙げています。「外国人に日本の国債の価値を認めてもらわないと、自分もその価値について自信がないように。」と書いています。そして、この記事の題名は「今様の事大主義」となっています。私も賛成します。日本の国も、会社も、投資家も、一般国民も、そんなに自信がないのでしょうか。つづく
2008年01月20日
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埼玉でも、かなり寒いです。秋田の友達からも寒いという便りが来ています。秋田は本当に寒そうです。一度治ったと思った不整脈がまた出ているようです。
2008年01月20日
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この研究をやった頃が私にとって一番大事な時期だったかもしれません。研究のやり方(考え方)という意味では、私のやり方の基本部分は、会社に入って直ぐの頃から、既に決まっていたのかもしれません。当時は全く意識していませんでしたが、今回の腐食の研究でも、金線熱圧着の研究と同じような考え方を使っていたのです。今回も、最初に、研究の目的をつかんでから、直ぐ、「まんずやってみれ!」で、手当たり次第に、いろいろなことを試しました。不良の要因を明らかにする、問題点を知る、自分の担当している研究で、チェック機能を見つけて、その結果の解析などを行ないました。しかし、一番大きな収穫は、図らずも、表面(界面)研究の方向づけができたことです。それも、研究の本筋から外れた部分からやるべきことが分かってきたのです。つづく
2008年01月20日
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午後、昼寝をしてしまいました。昼には、私の大好物のパンとチャイ(生姜、シナモン入りミルクティー)でした。美味しかったです。夜も、夕べの佃煮、様の塩焼きとローストビーフをぶどう酒(ボージョレヌーボー)とともに美味しく食べました。しかし、目が渋くて、喉が痛いのです。少し風邪かもしれません。熱はありません。ビタミンCの量を増やしています。ここのところ、ちょっと病人みたいな気分です。暮れにもらった目薬3種類を1日3回つけているし、不整脈の薬も飲んでいます。これまで、減らして飲んでいた(3分の1)胃腸薬のほかに。ここのところ寒いのも確かです。脈が少し不整になるような気がします。この間、お医者さんへ行ったのですが、心臓の音をあまりよく聞いてもくれないで(1秒ぐらいしか)、薬は飲めと言われました。つづく
2008年01月19日
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昨日女房の友達が持ってきてくれた佃煮が久しぶりでとても美味しかったです。小エビ、小魚と名前の分からない魚(多分タナゴ)でした。かつて、土浦で買ったワカサギのことを思い出しました。つづく
2008年01月19日
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「半導体素子上のアルミニウム薄膜の耐食性」の研究としては、成果があったと言えるでしょう(アルミニウム薄膜の腐食現象の研究として)。学会発表や論文執筆もしました。しかし、会社の問題解決の答(目標達成)という意味では、配線材料のアルミニウムのことを特に考えなくてもよかったのです。実際には、半導体素子を保護している樹脂と絶縁保護膜の改良により、問題は「解決」したのでした。この研究プロジェクトでは、いろいろなことを学べました。最初はあまり乗り気ではなかったのですが、やっているうちに、かなり面白くなり、会社での研究のやり方もいくらか分かってきたような気になりました。また、プロジェクトの事務局みたいなことをやらされてしまって、研究以外の面でも気を遣うことが多かったのですが、他の人に助けてもらうということの重要さを知ることができました。つづく
2008年01月19日
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コピー用紙などの古紙配合率の偽装のことで考えてしまいました。ニュースを聞いたとき、逆ではないかと思いました。製紙会社が、言っているより沢山古紙を入れていたのかと思ったのです。年賀はがきには40%古紙が使われているはずなのに、1%しか含まれてないらしいのです(日本製紙;東京新聞朝刊)。これは、古紙を少なくした方が安くできるということですね。いろいろな理由があるのでしょうが、全部のことを考えて、古紙を沢山使うことが環境保全(護)につながっているのかどうかを再検討すべきです。牛乳パックの再利用だってそうです。ある面だけを考えて環境保護に貢献していても、もっと広く考えると、そうでないかもしれないのです。今回の腐食の研究でも、アルミニウム配線だけのことを考えたなら、配線材料のアルミニウムにマンガンを加えることによって、アルミニウム配線の耐食性を向上させることができますが、腐食は、発生が遅くなりますが、発生はしてしまうでしょう。また、金のリード線を接続するのも、アルミニウムだけの場合より難しくなります(要対策)。腐食だけのことを考えれば、アルミニウム表面に少し厚い酸化膜(Alの)を作ってやればいいのです。しかし、金線は接続できなくなってしまいます。一方、外側の樹脂の材料や半導体素子上の絶縁保護膜の材料を改良すれば、配線材料を変えなくても、腐食発生までの時間を桁違いに長くできるのです。一つの要因だけに拘らないことにより、大幅な改善が可能になるのです。このように、より総合的に考えるのが大変大事なことになります。つづく
2008年01月18日
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アルミニウム配線材料の耐食性を向上させるための試験法を開発して(チェック機能)、アルミニウムにマンガン(Mn)を添加すると耐食性が向上することを明らかにしました。つづく
2008年01月18日
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マンガン(Mn)添加で、アルミニウム(Al)配線の耐食性はなぜ向上したのでしょうか?アノードとカソードの場合(それぞれ、正と負の電圧を印加した場合)に分けて考えましょう。 電子の運動エネルギー /eV図4.15 腐食後のAl-Mn合金薄膜表面のエスカ分析結果これは、エスカ(ESCA;X線光電子分光)という表面分析手法で、腐食後のAl-Mn薄膜表面を測定した結果です。上は、試料がアノードの場合(正電圧印加)で、下は、カソードの場合(負電圧印加)です。用いた溶液は同じ希薄食塩水なのですが、かける電圧によって、表面状態は変わってしまいます。試料に正電圧を印加した場合[表面は酸性;塩素(Cl)が検出されています;塩酸に漬けたようなこと]には、Mn(L2もL3;これらは電子の種類を示す記号です)は検出されていません。つまり、Mnが「犠牲」になって、Alの腐食が遅くなっていると考えられます。一方、負電圧印加の場合には、表面付近はアルカリ性[ナトリウム(Na)が検出されています;苛性ソーダに漬けたようなこと]になっています。そして、図4.16に示すように、電流の値が最高になるまでの時間がAl-Mnの場合、Alの場合より長くなっています。即ち、Al-Mn薄膜に負電圧を印加した場合、酸化膜を溶かすか壊すためにかかる時間が長くなっていると推測されます。 図4.16 AlとAl-Mn薄膜の腐食試験結果の比較アルミニウムは、両性金属と言って、酸にもアルカリにも溶けてしまう性質を持っていますが、今回の腐食では、どちらの場合にも、Mnが耐食性を向上させる効果を持っていることがわかりました。それにしても、面白いですね。食塩水そのものは酸でもアルカリでもないのですが、電圧をかけると、酸にでもアルカリにでもなれるのです。また、アルミニウムに金をつないだだけでも、電流が流れるのです。電池の原理です。つづく
2008年01月18日
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腐食に関する参考文献は以下の通りです。1)S. Iwata, A. Ishizaka, and H. Yamamoto:"Corrosion test for metallization for plastic-encapsulated IC's," J. Electrochem. Soc., 126(1), (1979), 110-114.2)岩田誠一:「LSI用電極・配線材料の腐食」、防食技術、35(1986), 656-661.3)岩田誠一:「ULSIにおける腐食の問題」、材料と環境、40(1991), 336-342.4)岩田誠一:「各種イオンを含む溶液中でのAuマイグレーション」、日本金属学会誌、45(4),(1981), 446-447.
2008年01月17日
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二種類の形態の腐食について、どちらの場合も、同じ合金(Al-Mn)薄膜の耐食性がもっとも優れていることが分かりました(私の試験法では;図4.13参照)。 図4.13 Al合金薄膜の耐食性の比較実験でAlに添加した元素は、マンガン(Mn)の他に、マグネシウム(Mg)、シリコン(Si)とゲルマニウム(Ge)でした。Mn以外の元素では、Alだけより耐食性が上がりませんでした。しかし、だからと言って、実際の半導体素子で、そうなるかどうかは分かりません。そこで、Al-Mn と Al配線を使った半導体素子を作って、高温高湿試験で比較をしました。その結果、図4.14に示すように、私の試験と概ね対応のある結果が得られました。 図4.14 AlとAl-Mn配線の高温高湿試験結果の比較この試験で表れた腐食の形態は、Al配線でもAl-Mn配線でも、カソード腐食(結晶粒界腐食;図4.11参照)でした。寿命の定義は、図4.13の私の腐食試験のものとは同じにはできませんでした。不良はただ一ヶ所の断線で決まってしまうからです。従って、ここでは、不良になる半導体素子の割合が約63%(不良率の時間依存性の定義の仕方から決まる値)になるまでの時間を寿命としました。つづく
2008年01月17日
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一年足らずで、37%も株価が下がってしまったのだそうです。昨日株価が5280円ですから、去年の2月頃は8380円以上だったはずです。株価だけで会社の良し悪しは分からないということです。私がお付き合いしている株の会社の「株スコア」(どこかよその会社のものでしょうが)では6です。この評価によると,元私がいた会社はなんと3です。当時は一流企業の一つだったと思うのですが。因みに、元わが社は、割安度と財務に問題があるようです。
2008年01月17日
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西洋のものならよいと思ってしまう。西洋人に卑屈になる(馬鹿に好意的になる)。東洋の人達を見下す。石原都知事など。日本の良さを知ろうとしない。自分の考えで行動できない(やたらに、アメリカでは、などと言う)。横文字を使いたがる。分かりやすい日本語の文を書けない。分かりにくい英語の論文ばかり書こうとする。外国で流行している研究をやろうとする。日本語でちゃんと文を書けないのは、私もです。だから、毎日、日記を書いて勉強しているのです。
2008年01月17日
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地元の小松菜が んめえ!近所で栽培しているものです。丈が低く、緑が濃く、味と香りが強い!さっと火を通しただけで十分です。つづく
2008年01月16日
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日本の株価はどうしてこんなに下がるのでしょうか。私には答は良く分かりませんが、いろいろ考えてみましょう。私は、これまで、自分なりに判断して、有望だと思う会社の株を少しずつ買って、株価の動きを見てきました。一般に商品の値段は買う人が多くなると上がっていくのだそうです。ですから、将来伸びそうな会社なら、そこの株を買う人が増えていいはずです。しかし、日本の会社の株の値段は日本人が決めているのではないようです。外国人の投資家が沢山買い始めると、日本人も買い始めるのでしょうか。ここのところ、外国人の投資家があまり買わなくなって、自分の国の株を買う日本人も減っているようです。私は、こういうときこそ、自分の国の株を買って(安いときに)、有望な会社を応援すべきだと思います。さっきも、テレビで、株価が下がったのは、外国投資家に認めてもらえるように、日本企業が十分努力をしなかったから、買ってもらえず、株価が下がってしまった、というような言い方がされていました。もっと実情をよく知っているはずの日本の投資家はなぜ買わなかったのでしょうか。買うに値する会社は沢山あると思います。もっと自分の国に自信を持つべきです。優秀な人材がいて、高度が技術も持っているのです。このように外国の影響を受けやすいのは、日本人(特に男)に染み付いている性格なのでしょうか。かつて、わが国は中国一辺倒でした。公文書は漢文、詩も漢詩、手紙や文も漢文が多かったらしいです。本居宣長翁も大昔にこのことを指摘しています。今の日本は、ちょっと見ただけでは、アメリカにいるみたいなところがあります。英語の氾濫、アメリカ風の食べ物、流行もです。研究の世界でも、英語でなければ駄目というくらいです。
2008年01月16日
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昨日、母のところへ来てくれた証券会社の人といろいろ話しました。ちょうどいい機会とばかりに、いろいろ教えてもらいましたが、まだ分かりません。株、国債、外貨などについて、いろいろ質問したのですが、あまりはっきりしたことは言えないようです。経済新聞なども、一般的な解説程度のつもりで読んだ方がいいそうです。ということで、論文(腐食の部分)はちょっと止まってしまいました。株も問題解決の一部ですので、考えることは無駄にはならないでしょう。研究全体としては。
2008年01月16日
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今まで、何度か、歩道の自転車の危険性について書いてきました。頭においてあった歩道は、多くの場合、世田谷通りの歩道でした。あまり広くない歩道なのに、相当な数の自転車がかなりのスピードで走っているのでした。これまで、そういう自転車を見るたびに、自転車を運転する人をにらめつけてきました。おまわりさんに捕まえてもらいたい思うような例もいくつかありました。私の母も、数年前、猛スピードでそばを通り抜けた自転車のお陰で、転んで捻挫してしまったことがあるのです。しかし、今日、馬事公苑前の世田谷通りの歩道に「自転車可」と書いてあるのを見つけてしまいました。警察は、一体どういう考えで、自転車が通るのを許しているのでしょうか。ここは、自転車が沢山通って、危ないです。特に、足腰の不自由な方々にはとても危険です。東京都だか、世田谷警察だか知りませんが、なんとかできないでしょうか。つづく
2008年01月15日
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腐食の不良が起きるのは、配線全面が一様に溶けて断線するのではなく、局所的に溶けて断線するのです。その状況を、試料とPt対向電極との間に流れる電流Iと電圧印加時間tとの関係として示すのが図4.12の測定例です。この電流は、厚い材料なら、初めにちょっと大きな電流値Imaxになって、そのまま、ほぼ一定の値になります。しかし、試料が薄膜であると、膜のなくなる部分への電流はなくなってしまうのです。ですから、電流は、残っている薄膜の面積の目安になると言えます。その状況が試料断面の状態変化として示してあります。電流が最初小さく、最大値Imaxまで増えるまでの時間は、主として、表面にある酸化膜が溶け、中のアルミニウム金属が溶け始めるまでの時間であると考えられます。私は、電流の変化が全変化の半分になるまでの時間t1/2腐食に対しての強さ(耐食性)を表すことにしました。もし、実際と同じ形態の腐食を作ることができるなら、この時間の大小が実際の腐食に対する強さの大小に対応するのではないかと思ったのでした。この方法で、私達が作った何種類かのAl(アルミニウム)合金(Al-X;AlのX元素を少量添加したもの)薄膜の耐食性(上記試験)を調べて、腐食に対してもっとも強いと判定されたAl-Mn(マンガン)合金薄膜を使って、半導体素子を作って、従来のAl薄膜の半導体素子とともに、高温高湿電圧印加信頼度試験を行ないました。つづく
2008年01月15日
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昨日、アメリカの株が下がっていたという情報で、今朝、株を少しですが、成り行き(そのときの値段)で注文してしまいました(手数料が安い)。株価が下がるだろうと思ったからです。また、私は今日へ東京へ行く用事があったからです。そうしたら、なんと、株価は最初高くなって、それから下がってしまったのです。結局、私は高めの値段で株を買うことになってしまいました。家にいて様子を見ていたら、もっと安く買えたのに。今日は、大事な教訓を学びました。このように「慌てると間違える」ことがあります。私は、今日は下がるに違いないと予想したのですが、いつ下がるかをよく考えなかったのです。つづく
2008年01月15日
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